Target распыляется в ортогональной магнитных и электрических полей, приложенных в высокой вакуумной камере между заряженного (катод) и анода инертного газа (обычно аргон), необходимый, в электрическом поле, газ Ar ионизируется на положительные ионы и электроны, плюс определенное отрицательное высокое напряжение на мишень, роль электрона, испускаемого из мишени электрода с помощью магнитного поля и вероятности ионизации рабочего газа увеличивается вблизи катода образуется из высокой плотности плазмы, ионов Ar в силы Лоренца под действием ускоряются по направлению к поверхности мишени при высокой скорости бомбардировки поверхности мишени, так что мишень распыленных атомов следуют высокий принцип кинетического преобразования энергии импульса к поверхности мишени к подложке из осажденной пленки.